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摻雜分析 SIMS 和 SRP

摻雜分佈中的變化可影響微電子器件的工作。 SGS 摻雜分析可為您提供所需的所有資訊,確保產品具有正常工作所需的正確摻雜濃度。

在半導體技術中,摻雜物是一種添加在基板或層中的微量元素,用以確定其傳導性。 摻雜是半導體工業中的主要工序之一。 摻雜分佈中的微小變化會大幅度影響微電子器件的工作,因此有必要確保生產過程中在分佈中使用正確的量。

SGS 摻雜分析可提供您所需的所有資訊,確保產品擁有正確的摻雜濃度並能夠正常運行。

SGS — 可信賴的提供商

我們位於德累斯頓 (Dresden) 的研究所是微電子學服務年限最長的實驗室之一。 我們的研究所提供最高品質服務,業績記錄良好。 我們實行:

  • 使用次級離子質譜分析法(經典動態 SIMS 和 TOF-SIMS)進行摻雜和雜質的深度分析。 
  • 我們也使用以下方法測量電性活化摻雜:
    • 展阻量測分析法 (SRP)
    • 二維分析掃描探頭技術

SIMS 和 SRP 高度敏感,提供高動態範圍。 它們也可很好地互相補充。

聯繫 SGS,瞭解我們的摻雜分析服務如何為您的業務提供幫助。

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  • 超微量工業安全實驗室

    • 新北產業園區五權七路38號
      新北市, 24890
      台灣
    • t   +886 2 2299 3279 ext. 7120-7127
    • f   +886 2 2298 1338
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  • 消費品檢驗部

    • 新北產業園區五工路125號
      新北市, 24886
      台灣
    • t   +886 2 2299 3279 ext. 5111, 5112, 5114, 5117, 5120
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