壓縮乾燥氣體檢測服務COMPRESS DRY AIR (CDA) TESTING SERVICE

直接使用再製程上的壓縮空氣如果品質不良, 也是產品污染的來源
壓縮乾燥氣體檢測服務

所謂壓縮乾燥氣體(CDA)是取之於大氣經壓縮機壓縮後除溼,再經過濾器或活性碳吸附去除粉塵及碳氫化合物以供給至無塵室內使用。但外在環境空氣中或是空壓機運作時往往會含有或是產生:水氣、油份、一氧化碳、二氧化碳、異味、污染微粒...等物質,而這些物質的多寡,則會影響您所使用的壓縮空氣品質,也相對會影響產線上的產品及無塵室內環境。因此建議針對光電面板製程,半導體製程,生化醫藥製程壓縮氣體管路(P-CDA)及驅動用氣體管路(D-CDA)對其可能殘餘之污染物均需加以監控。

 

SGS 依據 ISO 8573 針對 CDA 中會影響製程良率的各項重要指標,提供安裝後及使用期間定期檢測之服務。

 

測試項目:

  • 重金屬元素分析
  • 油份含量(總碳氫化合物)分析
  • 微粒子數分析 (0.1um ~10um )
  • 酸鹼氣體含量分析 (陰陽離子)
  • 水份及露點分析
  • 微生物污染分析
  • 其他有機污染物分析
  • CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析
  • 過濾效率評估
半導體超微量分析服務
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