無塵室空降污染分子檢測服務AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINANTS (AMC) ANALYSIS SERVICE
AMC對半導體製程良率影響甚大, 定期檢測AMC是為預防產品微汙染重要工作
AMC 係指-環境中有能力沈降於表面上形成單分子層(monolayer)薄膜之氣態化學污染物質。因半導體晶圓越微小化、平面顯示器尺寸巨大化，製程產品正面臨微量污染物嚴重威脅，對於無塵室生產環境的潔淨度要求也越來越嚴謹及重要。現今 AMC 的污染濃度雖未與目前的潔淨室等級形成直接關係，但 AMC 的存在確實對製程有嚴重的影響。
AMC常見來源：
- 製程中使用的化學品，造成化學濾網效率降低或釋出
- 鄰近工廠使用含硫有機溶劑排放之有機硫化物
- 石化製程排放之揮發性有機物及其光化學反應物質
- 大氣中硫氧化物，氮氧化物
- 無塵室部分建材、機具、器材等相關物品所揮發之 VOCs
半導體超微量分析服務
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