2026/08/20
氣體管路「水分分析」落實高科技廠房精準監控
透過水分分析，精準掌握高科技廠房氣體管路乾燥度與品質狀態，協助管路驗收及定期監測，降低異常水分對製程穩定性的影響。
微量水分，影響的不只是氣體純度
在半導體與高科技廠房的氣體品質管理中，水分分析（Moisture Analysis）是確認氣體管路乾燥程度與供氣品質的重要檢測項目。微量水分可能增加管路與閥件腐蝕、微粒污染及反應物耗損等問題，在CVD、ALD等製程中造成晶圓良率下降，水分控制也成為維持製程穩定的重要環節。
微量分析，掌握氣體品質
依據氣體種類、製程需求及廠區管理規範，可使用露點／水分分析設備進行現場量測，掌握氣體管路中的水分含量。透過實際量測結果與相關管制標準進行比對，以了解氣體管路及供氣品質是否符合使用規範。
定期監測，建立氣體品質管理機制
透過週期性的水分分析與歷史數據趨勢追蹤，可掌握氣體品質變化，當水分濃度出現異常趨勢時及早進行原因調查與改善，建立更完整的氣體品質監控機制，支持高科技製程穩定運行。
SGS提供氣體管路水分分析服務
SGS可提供高科技廠房氣體管路之現場水分分析服務，並依據氣體種類、管路條件及製程需求規劃檢測作業。服務範圍涵蓋新建管路驗收、維修或改造後確認，以及既有管路定期檢測，並提供量測數據與檢測結果，作為客戶管路驗收及氣體品質管理之依據。
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