2026/08/20
氣體管路「微氧分析」把關高科技製程氣體品質
高純度氣體中的微量氧可能反映管路洩漏、密封或置換異常。透過ppb等級微氧分析，可掌握供氣品質，為管路驗收與異常排查提供數據依據。
高科技廠房的氣體管路在新建、維修或改造完成後，通常需要經過氣體清洗（Purge），將管路內原有的空氣逐步排出。然而，「已經 Purge 多久」並不等於「管路已經達到使用條件」，真正需要確認的是管路內殘留的氧氣是否已降低至要求範圍。此時，微氧分析便可提供直接的量化數據，協助人員判斷氣體置換效果。
量化微氧濃度，確認管路狀態
一般空氣中約含有 21% 氧氣，當高純度氣體導入管路進行置換時，管路內的氧氣濃度會逐步下降。透過微氧分析量測氧氣濃度，可確認管路內殘留空氣的置換情形，並作為管路驗收及供氣品質確認的參考依據。
微氧分析，掌握供氣品質
微氧分析除了可用於確認管路氣體置換效果，也能協助掌握供氣系統的品質狀態。透過微量氧濃度的量測，可即時了解氣體品質是否符合規範，並在數值出現異常變化時提供客觀的檢測資訊，作為後續管路檢查與品質管理的參考。
微氧分析服務，支援高科技廠房氣體品質管理
SGS 可提供高科技廠房氣體管路現場微氧分析服務，使用微量氧分析設備進行量測，可應用於新建管路、維修改造後的 Purge 效果確認及相關氣體品質檢測。
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