半導體PFAS檢測服務
為什麼半導體行業需要關注PFAS
難以被降解的永久化學品- Forever Chemical
極度穩定的PFAS具有不沾黏、防水、防油、摩擦力小等特性，在環境中難分解，具有生物累積性、致癌性，造成全人類健康與環境的衝擊，故被稱為“持久性化學物質”或永遠的化學物質 Forever Chemical。
使用範圍廣泛
因其材料優異的性質，廣泛使用在半導體產業中，從設備中的O-ring、管件、潤滑油，製程使用的光阻、研磨液、清洗液，蝕刻端使用的氣體、蝕刻液、剝離液，最後封裝使用的材料皆有PFAS的蹤跡。
國際法規的限縮與管制
美國、歐盟、台灣、中國大陸、日本等各國對PFAS逐步列管。隨著各地受到PFAS嚴重的污染，歐盟最快2025年公布草案並限制，美國TSCA開始調查要求企業回報，台灣增修PFAS至《毒管法》限制使用，並開始加強對飲用水的控管。
難以替代性
半導體業替換材料需經長時間驗證，且PFAS優異的特性，其他材料難以達到相同功效，現階段使用短碳氟鏈的PFAS做為緩衝期，正努力研發PFAS free的產品中。
PFAS Group
含氟物質分為有機物與無機物，PFAS分類在有機物中，定義如下：
半導體產業中PFAS的蹤跡
因PFAS優異的特性，在半導體各段製程中，常使用到含有PFAS的材料，如下表所示：
除了留意各製程中使用的PFAS的材料，製程後的回收水、廢氣中也能發現PFAS。設備中耐化學性佳的氟系塑膠亦有釋出的疑慮，以下分為三部分介紹：
1.製程回收水的處理
2.製程廢氣的處理
3.氟系塑膠殘留物釋出
半導體產業中PFAS的蹤跡 - 製程回收水
PFAS存在各類型的製程回收水中，可以物理或化學方式吸附或分解，但現階段會面臨以下瓶頸：
物理性：離子交換樹酯與活性碳對短碳鏈PFAS吸附效率不高，且易受水中離子、pH值等影響。
化學性：高成本難以實現，降解後形成許多副產物，目前長碳鏈PFAS研究篇幅較多。
隨著業界使用短碳鏈的PFAS，處理廢液需要更加留意，以避免殘餘而汙染環境。
半導體產業中PFAS的蹤跡 - 製程廢氣
PFAS也存在半導體製程廢氣當中，常見的方法是以Scrubber處理。
除了直接接觸化學品和透過溶劑作為汙染途徑外，PFAS亦會依附在灰塵、懸浮物上，藉由空氣傳播汙染周遭環境，遺留在城市區域，並散布在全世界，甚至在北極地區的研究監控站，在空氣中測出PFAS，並持續數年之久。
半導體產業中PFAS的蹤跡 - 釋出物
在設備中管線、筒槽內襯、O-ring等氟系塑膠製品，有釋出PFAS的風險。氟系塑膠中製造過程使用的加工助劑、乳化劑、單體等殘留物(例如：全氟乙酸、全氟丙酸、全氟丁酸)，經長時間會慢慢釋出，恐造成接觸者的健康危害，亦造成產品中的PFAS含量上升。
全球對 PFAS 的污染重視近況
PFAS造成全世界水源、土壤汙染，影響人類健康，各國紛紛開始檢討PFAS的來源，並要求相關單位改善：
台灣
目前《毒管法》已列管151種，擬再列管357種PFAS化學物質，預計2025年2月上線，違者會被處以100～500萬新台幣的罰款。
《水污染防治措施及檢測申報管理辦法》對科學園區與工業區的原廢水與流放水，將PFOS、PFOA、PFHxS納入檢測標準，預計2025年1月開始實施。
2024年3月要求淨水處理相關單位，PFOA與PFOS合計須小於50ng/L，PFOS及PFHxS合計須小於70ng/L。2027年加強抽驗，若不符合標準，直接處以6萬元以上、60萬元以下罰鍰，可按日連罰。
日本
2024年各地淨水廠、河川、地下水中驗出PFOS與PFOA，並在附近居民血液中驗出高濃度的PFOS與PFOA ，因此首次調查全國約1萬2千個自來水供水點。
歐洲
2022年在比利時生產半導體冷卻劑大廠，因無法通過當地環保法規，產線無限期停工，造成全球半導體業產能動盪。
美國
知名化學大廠任意排放具有PFOA廢棄物，嚴重污染土壤、河流與飲用水長達50年，歷經17年的訴訟，賠償6.71億美金。目前遭全世界起訴，2023年以11.85億美元支付環境清潔費。
知名企業與許多美國公共供水系統達成103億美元和解，以解決PFAS相關的水污染。目前尚有許多進行中的訴訟，可能需要支付高達 300 億美元，來解決所有與 PFAS相關的法律責任。
國際法規與趨勢
下表為各國法規對PFAS碳氟鏈數小於8的管制情形，短碳氟鏈(C6內)逐漸開始受到關注與限制。半導體業者已汰換掉長碳氟鏈(C8以上)，並使用短碳氟鏈，積極開發PFAS-free的材料中。
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