CDA、XCDA 是什麼？一次看懂壓縮空氣潔淨等級與應用差異
壓縮空氣品質是影響設備運作與製程穩定性的重要因素。從一般壓縮空氣、CDA 到 XCDA，隨著潔淨度要求提升，污染物控制也由水分、油分與微粒，進一步延伸至分子級污染物，並可透過 ISO 8573 等標準作為品質管理與檢測依據。
在半導體、電子與精密製造產業中，壓縮空氣不只是設備運轉的動力來源，其潔淨程度也可能影響製程穩定性與產品品質。依照污染控制需求不同，常見可分為一般壓縮空氣、CDA（Clean Dry Air，潔淨乾燥空氣）與 XCDA（Extreme Clean Dry Air，超潔淨乾燥空氣）。
三者最大的差異，在於「需要控制哪些污染物」以及潔淨程度的要求。
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類型 |
主要控制對象／品質要求 |
常見應用 |
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一般壓縮空氣 |
液態水、油、鏽屑等污染物 |
氣動工具、氣缸 |
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CDA |
進一步控制水氣、油分與微粒；空氣品質可依 ISO 8573-1 的微粒、水、油純度、微生物等進行分類 |
一般廠務、無塵室氣動元件 |
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XCDA |
除微粒、水氣與油分外，更進一步控制 AMC 分子級污染物 |
曝光機、精密量測、晶圓與光罩吹掃 |
一般壓縮空氣主要著重去除液態水、油及較大的顆粒污染物；CDA 則進一步降低水氣、油分與微粒，使空氣更加乾燥與潔淨。在壓縮空氣品質管理上，ISO 8573-1 也是常見的參考標準，可用來定義微粒、水與油的純度等級。
XCDA 的潔淨要求則更進一步，除了上述污染物，也著重AMC（Airborne Molecular Contaminants，氣態分子污染物）的控制，例如 酸、鹼、有機物、矽氧烷等可能影響高敏感製程的污染物。
相較於一般壓縮空氣，CDA 與 XCDA 對污染物控制的要求更為嚴謹，管理範圍亦由液態污染物與顆粒物，進一步延伸至分子級污染物。實際規格則應依設備條件、製程需求及廠內品質標準進行制定。
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