ISO 14644-14 自動化設備動態微粒子評估無塵室等級適用性ISO 14644-14 for Assessment of Cleanroom Suitability by Imitate Dynamic Analysis of Particle Concentration

 ISO 14644-14 自動化設備動態微粒子評估無塵室等級適用性

你的設備 (產品) 適合放在潔淨室嗎 ?

       現在的半導體產業隨著製程的精進,都已發展到奈米級的水準,換而言之只要一顆微塵粒子掉落在製程或線路中就有可能導致整批產品異常或是報廢,這就是為什麼這些作業需要潔淨室內進行。不同的製程會對應不同等級的潔淨室,不同的產業相對也會有不同等級的潔淨室需求。設置潔淨室的目的是為了能避免微塵粒子影響到產品。

       隨著產能的增加以及對出貨的速度要求,自動化設備變成了一種趨勢,不但廣泛的應用在各種產業,多半都放在潔淨室內且有的可能會與產品近距離的接觸 e.g. 機械手臂.自動搬運車.線性滑軌.模組自動夾爪…等。那麼,這些自動化設備所產生的微塵粒子就會直接影響產品的良率。

為什麼要測試發塵量?

       自動化設備如果潔淨度不足或耐用性不佳,容易造成發塵量過高或產出一些離子類金屬類或有機類化合物之污染物。這些污染物可能因為使用後而產生的靜電效應造成微粒子吸附現象。設計不良或材質不佳的自動化設備品除了可能影響潔淨室效能外,更會直接或間接造成產品的污染。(潔淨度概述)

 潔淨室設備微粒濃度適用性的評估 ISO 14644-14

        為有效控管無塵室的潔淨度等級,ISO 14644不再只針對環境進行測試要求,為避免當設備運作時有可能產生發塵而直接影響污染產品風險,因此ISO 14644-14* 提出對進入潔淨室的各類機具設備進行其發塵量的等級評估。像是機械手臂、無人搬運車、各式滑台、夾爪都有可能置入潔淨室進行搬運或夾取…等作業,其在運轉過程中有可能直接與產品進行接觸,一但設備因熱、擵擦而產生發塵,或因為使用後而產生的靜電效應造成微粒子吸附現象,則不但會直接污染產品甚至環境也可能會遭受到污染。 

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客製化模擬試驗

  • 測試環境符合比使用設備的潔淨室或潔淨區至少乾淨一個ISO N級(參照ISO 14644-1等級)。
  • 氣流速度垂直速度的指導範圍符合在0.3 m / s至0.5 m / s的範圍內。
  • 溫度執行範圍符合18°C至25°C內。
  • 濕度執行範圍符合30%RH至70%RH
  • 評估高顆粒濃度particle的測量位置
  • 評估哪些位置應包括在最終測量

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提供專業專案報告 

        SGS提供各式機具與設備進行模擬在潔淨室內實際運作狀態下,進行發塵量測試,以評估其機具設備適用潔淨室之等級。協助各家廠商進行無塵動態模擬發塵量測試。14644 14 4

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